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偵測到亮點之情況；
會產(chǎn)生亮點的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應；4閂鎖效應； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現(xiàn)亮點之故障：1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形（埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置）；2.歐姆接觸；3.金屬互聯(lián)短路；4.表面 反型層；5.硅導電通路等。
點被遮蔽之情況：埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置，吉林3D顯微鏡，這種情 況可采用Backside模式，但是只能探測近紅外波段的發(fā)光，且需要減薄及 拋光處理。
溫馨提示：以上是關于吉林3D顯微鏡-3D顯微鏡報價-蘇州特斯特(推薦商家)的詳細介紹，產(chǎn)品由蘇州特斯特電子科技有限公司為您提供，如果您對蘇州特斯特電子科技有限公司產(chǎn)品信息感興趣可以聯(lián)系供應商或者讓供應商主動聯(lián)系您 ，您也可以查看更多與分析儀器相關的產(chǎn)品！
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第5年
