當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時,必須根據故障提示進行處理。
當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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